-
鲁汶仪器申请具有成像系统的刻蚀设备和检测方法专利，能够在不破坏刻蚀腔体真空条件的基础上实现聚焦环位置偏差检测
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种具有成像系统的刻蚀设备和检测方法”...
火必官网 2026-05-06 9
鲁汶仪器申请具有成像系统的刻蚀设备和检测方法专利，能够在不破坏刻蚀腔体真空条件的基础上实现聚焦环位置偏差检测
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种具有成像系统的刻蚀设备和检测方法”...
火必官网 2026-05-06 9